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HF干式无油真空泵

概述

用途

本系列变容式无油真空泵特别适用于化工、制药行业使用,具有极强的抽除100%的有机溶剂(如酒精、汽油、丁烷等)气体能力,也能确保长期可靠地连续工作,并且抽除的重要气体可以实现100%回收,重复使用。本系列产品安装了排液装置,可以使冷凝在泵腔内的冷凝液体逐级排除泵外,确保了泵的工作效率,延长了泵的使用寿命。

特点

清洁抽空,对环境无污染;在流程腔内,部件间无内部接触,无油气污染;抽除能力强、工作平稳、噪声低;维护成本低。

配合使用

作为罗茨泵、分子泵、钛升华泵、溅射离子泵、低温泵的前级泵配套,可组成清洁的无油中真空和无油高真空机组。

应用环境

化工实验室、真空蒸馏、真空分馏、真空浓缩、分子蒸馏;

光谱仪器、电子显微镜;

表面物理和分析仪器;

各种镀膜设备、退火炉、加热炉、空间研究;

电子管生产、热管生产、图像转换管、电子显像管;

光学器件的过程工艺、半导体器件过程工艺等、等离子刻蚀、化学气相沉积、分子束外延、离子注入;

真空干燥、真空冻干、真空烧结、液晶生产、真空冶炼;太阳能电力;国防科研。

主要性能参数

参数/型号 HF-4 HF-8 HF-15 HF-30 HF-70 HF-150 HF-300
极限真空(Pa) ≤3 ≤3 ≤3 ≤3 ≤3 ≤3 ≤3
抽气速率(L/S) 4 8 15 30 70 150 300
满载功率(kw) 0.75 1.1 2.2 4 7.5 150 30
输入电压(V) 380 380 380 380 380 380 380
冷却水流量(L/H) 200 200 200 300 300 350 350
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